提到潔淨室標準，最常使用的就是FS 209E(Federal Standard 209E) 和 ISO-14644系列了。事實上209E早已在2001年廢止，但由於美國還繼續沿用，台灣大陸日本等國家(歐盟除外)也還是繼續使用這個標準。
兩個規範有各自的分級標準，以209E為例並圈出工業電腦常接觸到的範圍標準如下。可以看到橫排是顆粒大小，直排則是分級標準。以工業電腦而言會使用到潔淨室的大致只有LCD面板和觸控面板結合的製程，而這段製程最常使用到的則是分類1k(1000)及10k(10000)這兩個分級，而1k的意思代表著在每立方英尺下0.5um的顆粒數不超過1k個，10k則是不超過10k個顆粒。並沒有明確定義哪個等級適用，只要自定義且適用即可。
可以看到每個級距都會使用到0.5um這個顆粒大小，因此透過這個顆粒大小簡易的結合FS 209E和1SO-14644間的級距對應如下。
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ISO 14644-1 |
FED STD 209E |
|
|
ISO Class |
English |
Metric |
|
1 |
|
|
|
2 |
|
|
|
3 |
1 |
M1.5 |
|
4 |
10 |
M2.5 |
|
5 |
100 |
M3.5 |
|
6 |
1,000 |
M4.5 |
|
7 |
10,000 |
M5.5 |
|
8 |
100,000 |
M6.5 |
|
9 |
|
|
對於歐洲客戶來說，FS 290E可能不大熟悉，因此1K等級的潔淨室則相當於ISO class 6的潔淨室了，這樣也有助於不同國家間語言的溝通。
在定義了本身的潔淨度等級之後，接下來需要注意的就是每年定期的校驗了，而校驗的頻率則是依據ISO-14644-2所訂定為每年校驗，項目則包含落塵量、空氣流速及壓差。
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Test Parameter |
Class |
Maximum Time Interval |
Test Procedure |
|
Particle Count Test |
<= ISO 5 |
6 Months |
ISO 14644-1 Annex A |
|
> ISO 5 |
12 Months |
||
|
Air Pressure Difference |
All Classes |
12 Months |
ISO 14644-1 Annex B5 |
|
Airflow |
All Classes |
12 Months |
ISO 14644-1 Annex B4 |
而在校驗的過程基本必須包含靜態(at rest)及動態(operational)兩種不同的測試環境。也就是當潔淨室設備運轉但組裝人員不在裡面操作時(at rest)測試一次，然後組裝人員進入後正常作業時再行量測一次。
最後附註ISO-14644的相關條文的名稱，當有需要了解相關資訊的時候就可以簡單地對照查閱了
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ISO Document |
Title |
|
ISO-14644-1 |
Classification of Air Cleanliness |
|
ISO-14644-2 |
Cleanroom Testing for Compliance |
|
ISO-14644-3 |
Methods for Evaluating & Measuring Cleanrooms & Associated Controlled Environments |
|
ISO-14644-4 |
Cleanroom Design & Construction |
|
ISO-14644-5 |
Cleanroom Operations |
|
ISO-14644-6 |
Terms, Definitions & Units |
|
ISO-14644-7 |
Enhanced Clean Devices |
|
ISO-14644-8 |
Molecular Contamination |
Note.
無塵室人員裝備包含
1. 無塵衣 2.無塵帽 3.口罩 4.手套 5.鞋 (PS. 除手套外均有一次式)
用品包含
1. 腕帶 2.桌墊 3.包裝袋 4.擦拭紙&黏塵布 5.吸塵器 6.滾輪 7.拖把 8.腳踏黏墊
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